SJT 11185-1998 蒸发镀膜设备通用规范
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ID： |
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文件大小(MB)： |
0.2 |
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页数： |
10 |
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日期： |
2009-6-12 |
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ICS 31.020,I, 97,备案号:2088-1998 I} J,中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 11185一1998,蒸发镀膜设备通用规范,general specification for vapour coating equipment,1998-03-11发布1998-05-01实施,中华人民共和国电子工业部发布,前言,本 标 准 是根据电子工业部一九九六年标准制修订计划的要求，对sJ1 224-77(真空蒸发,设备通用技术条件》进行修订,本 版 本 对原版标准的重要技术内容改变如下:,a) 标 准名称略有改变;,b) 增 加了设备的分类与型号命名、制冷系统要求、膜厚均匀性、可靠性等,本 标 准 由电子工业部标准化研究所归口,本标 准 起 草单位:成都南光实业股份有限公司、电子工业部标准化研究所,本 标 准 主要起草人:贺学红、陆裕芳、武又文、赵雨生,中华人民共和国电子行业标准,SI/T 11185- 1998,蒸发镀膜设备通用规范,代替盯1224-77,General specification for vapour,co at in ge q uipment,范围,本标 准 规 定了蒸发镀膜设备(以下简称“设备)’，的分类与型号命名、要求、试验方法、检验,规则及标志、包装、运输、贮存,本 标 准 适用于极限压力为3x 10-3Pa-5x 1 0-6Pa范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设,备,弓!用标准,下列 标 准 所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所,示版本均为有效。所有标准都会被修订.使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的,可能性,GB 1 91 -90 包装储运图示标志,GB 2 68 1-81 电工成套装置中的导线颜色,GB 2 68 2-81 电工成套装置中的指示灯和按钮的颜色,GB 3 7 97 -83 电控设备第二部分装有电子器件的电控设备,GB 5 0 80 .7-86 设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间验,证 试 验 方 案,GB 6 38 8-86 运输包装收发货标志,GB /T 1 3384-92 机电产品包装通用技术条件,SJ/ T 37 -1996 电子工业专用设备型号编制及命名方法,SJ 1 2 76- 77 金属镀层和化学处理层质量检验技术要求,SJ 1 6 35- 19% 电子工业管路的基本识别色和识别符号,SJ 2 5 73 -85 涂料涂覆通用技术条件,SJ/ T 11 131-1997蒸发镀膜设备基本参数系列,SJ 2 0 38 5-93 军用电子设备电气装配技术要求,3 分类与命名,3.1 设备分类,3.1.1 按设备的工作压强可分为:,中华人民共和国电子工业部1998-03-” 批准1998-05-01实施,一 1 一,S)/T 11185一1998,a) 高 真空蒸发镀膜设备;,b) 超 高真空蒸发镀膜设备,3.1.2 按设备成膜的用途可分为:,a) 半 导体、集成电路用蒸发镀膜设备;,b) 磁 带、光盘用蒸发镀膜设备;,c) 装 饰膜、包装膜用蒸发镀膜设备,3.1.3 按设备的结构特点可分为:,a) 钟 罩式蒸发镀膜设备;,b) 箱 式 蒸发镀膜设备;,c) 卷 绕式蒸发镀膜设备,3.1.4 按蒸发加热的方式可分为:,a) 电阻 加热式蒸发镀膜设备;,b) 电 子束加热式蒸发镀膜设备;,c) 电阻 和电子束加热式蒸发镀膜设备;,d) 感 应加热式蒸发镀膜设备;,e) 激 光 加热式蒸发镀膜设备,3.1.5 按设备自动化程度可分为:,a) 半 自动蒸发镀膜设备;,b) 手 动 燕发镀膜设备,3.2 设备型号命名,设 备 的 型号应按SJ/T 37的规定编制.其具体含义如下:,0 7 0 0一1 A,万一下丁飞,仁,改进代号,设计顺序号,— 主参数,6丁!、，、,M丁!一,品种代号,型式代号,{- 一 一— — 类别代号,设备名称为‘`700箱式蒸发镀膜设备”,4 要求,工作条件,在下列条件下.设备应能正常工作:,环境温度:25C t 59C;,相对湿度:不大于90%;,冷却水:进水温度不高于25C，冷却水采用城市自来水或质量相当的水;,供电电源:三相380V士38V或单相220V士22V;,频 率 50 H z士 1H z ;,设备工作所需的压缩空气、氮气、氢气等的耗量、压力.在产品标准中规定。a) 句,动,的,e) 2,SJ/T 11185-1998,4.2 一般要求,4.2.1 设备应按规定程序批准的图样及技术文件制造，并应符合本标准的要求,4.2.2 设备的电气装配应符合SJ 20385的规定,4.2.3 设备电气安装时使用的导线颜色应符合GB 2681的规定,4.2.4 设备使用的按钮、指示灯的颜色应符合GB 2682的规定,4.2.5 设备配用的外购件，都应符合相应的产品标准的规定，并应具有质A合格证,4.3 外观要求,4.3.1 开关、仪表及铭牌等面板上的零部件应布置合理、方便操作,4.3.2 油漆涂覆的零部件的涂层应符合SJ 2573的要求,4.3.3 电镀及化学徐覆的零部件表面应光滑细致、无斑点、锈蚀、起泡、脱层、烧结等缺陷。其,质量应符合SJ 1276的规定,4.3.4 各种管道的涂色应符合SJ 1635的规定,4.4 安全要求,4.4.1 设备应设有水流报替装置,4.4.2 设备应有防止触电的保护设施，其设施应符合GB 3797-83中3.9.1的规定,4.4.3 电控柜的接地要求应符合GB 3797-83中3.9.7的规定,4.4……
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